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备件包括腔体、灯丝、电弧缝、支架和许多其他部件。这些零备件由石墨、钼、钨和合金制成。它们经久耐用，使用寿命长，因此可以节省资金和维修时间。每个光束路径上都有上百或更多的攀时组件在工作。它们确保有效生成离子，并沿着光束路径不含杂质精确引导到晶片。 对于半导体行业的客户，攀时的备件渐渐已经不仅仅是备品，而是成为了首选。攀时在设备制造商原始备件的基础上优化了几何形状和材料组成。给您带来的好处：简化组件的安装和拆卸、延长使用寿命、降低清洁成本、减少维护工作、减少停机时间。