AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

AURION Anlagentechnik GmbH公司 - 等离子技术 = 等离子系统 + 高频组件。AURION Anlagentechnik GmbH公司于1996年年末由三位合伙人创立。创立公司的初衷是制造高效、低成本且环保的用于表面处理的组件和全套系统。AURION开发和制造为等离子系统提供性能的组件。其中包括带自动调整单元的阻抗匹配网络，例如过滤器、开关、移相器、功率分配器、导线和连接器。业务重点是13.56或27.12 MHz高频等离子体工艺流程领域。27.12 MHz。凭借来自组件制造的专业诀窍，AURION还提供全套系统用于等离子支持的表面处理，也就是用于表面清洁和修改以及涂层和蚀刻工艺（PVD、PECVD、RIE、微波）。