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攀时的钼和钨坩埚是熔化和凝固单晶的理想容器。成型的坩埚具有特别薄的壁面,并具有优异的抗蠕变性能。坩埚的出色纯度可防止单晶受到任何污染。即使是最具侵蚀性的蓝宝石熔体也不会造成任何伤害。攀时生产大量的成型钼和钨坩埚,并以所有通用尺寸供货。它们被全球所有主要制造商和众多终端客户成功使用。

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钨层是TFT-LCD屏幕中使用的薄膜晶体管元件。在需要大屏幕格式,特别是高清画质和优化对比度时,都可以使用它们。不过,在微电子行业中,钨也被用作扩散屏障和导电连接器。攀时拥有世界上最大的难熔金属热轧机,能够生产出地球上最大的钨溅射靶。大幅面对您的好处:涂层工艺更稳定,沉积层质量更高。攀时采用特别的成形工艺,确保其钨溅射靶材的密度几乎达到100%。出色的溅射速度带来特别高的导电性并节省大量时间,对您的工艺流程非常有利。

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由钨、钼和钽制成的蒸发舟,有多种不同宽度、长度、材料厚度和体积版本,可直接在攀时网上商店购买:www.plansee.com/shop

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备件包括腔体、灯丝、电弧缝、支架和许多其他部件。这些零备件由石墨、钼、钨和合金制成。它们经久耐用,使用寿命长,因此可以节省资金和维修时间。每个光束路径上都有上百或更多的攀时组件在工作。它们确保有效生成离子,并沿着光束路径不含杂质精确引导到晶片。 对于半导体行业的客户,攀时的备件渐渐已经不仅仅是备品,而是成为了首选。攀时在设备制造商原始备件的基础上优化了几何形状和材料组成。给您带来的好处:简化组件的安装和拆卸、延长使用寿命、降低清洁成本、减少维护工作、减少停机时间。

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技术数据 冲数: 连续变化,从5次至最大700转/每分钟 冲床: 最大标称冲力300千牛,行程10毫米 滑块单元: 最大标称成型力50千牛,最大行程10毫米 进料长度: 机械进料:最大40毫米,伺服进料:不限 工料: 板件最大宽度80毫米,线材最大直径4毫米 尺寸: 宽2950毫米 x 长1400毫米 x 高2190毫米(不带外壳) 重量: 约7500千克(带加工单元和模具,不带外壳)

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