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敞开式直线光栅尺 海德汉公司的敞开式直线光栅尺的读数头 与光栅尺或光栅尺钢带间没有机械接触。 这种光栅尺的典型应用包括测量机、比较 仪和其它长度计量领域的精密仪器以及生 产和测量设备,例如半导体工业应用。 • 精度等级,不低于± 0.5 µm • 测量步距至0.001 µm(1 nm) • 最大测量长度达30 m • 读数头与光栅尺间无磨擦 • 尺寸紧凑和重量轻 • 运动速度快 PP二维编码器的测量基准是玻璃基体的平 面二维相位光栅,用于测量平面中位置。 其应用包括: • 半导体工业的测量和生产设备 • 电子工业的测量和生产设备 • 高速X-Y工作台 • 测量机和比较仪 • 测量显微镜

测量 - 设备和仪器
  • 海德汉
  • 直线光栅尺

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