LIP/LIF/LIC 适用于超高真空技术的敞开式光栅尺

敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测量值的机器和设备。 典型应用包括： 半导体行业的测量和生产设备 PCB组装机 超精密机器 高精度机床 测量机和比较器，测量显微镜等 精密测量设备 直接驱动器 我们的标准编码器适用于低真空或中等真空。 用于高真空或超高真空应用的编码器需要满足特殊要求。 使用的设计和材料必须特别适合它。 有关更多信息，请参阅技术信息文档“真空技术的线性编码器”。 以下敞开式直线光栅尺专门适用于高真空和超高真空环境。 •高真空：LIP 481 V和LIF 481 V. •高真空：LIC 4113 V和LIC 4193 V. •超高真空：LIP 481 U.