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敞开式直线光栅尺 海德汉公司的敞开式直线光栅尺的读数头 与光栅尺或光栅尺钢带间没有机械接触。 这种光栅尺的典型应用包括测量机、比较 仪和其它长度计量领域的精密仪器以及生 产和测量设备,例如半导体工业应用。 • 精度等级,不低于± 0.5 µm • 测量步距至0.001 µm(1 nm) • 最大测量长度达30 m • 读数头与光栅尺间无磨擦 • 尺寸紧凑和重量轻 • 运动速度快 LIP和LIF系列敞开式直线光栅尺特点是测量 步距小、测量精度高。其测量基准为玻璃 或玻璃陶瓷基体的相位光栅。 LIP和LIF系列光栅尺主要用于: • 测量机和比较仪 • 测量显微镜 • 超精密机床,例如加工光学元件的金刚 石刀具,加工磁盘端面车床和加工铁氧 体元件的磨床 • 半导体工业的测量和生产设备 • 电子工业的测量和生产设备 LIF 481 V和LIP 481 V(最高真空度达10–7 bar)以及LIP 481 U(超高真空度达10–11 bar)能满足高真空度真空应用的特殊 要求。 LIP 300系列 • 超高分辨率,测量步距至1 nm • 极小信号周期,极高重复精度 • Zerodur玻璃陶瓷基体测量基准 具有可定义的温度特性 LIP 200系列 • 最大测量长度3040 mm • 最小测量步距1 nm • 极高重复精度,紧凑的结构 • Zerodur玻璃陶瓷基体测量基准 具有可定义的温度特性 LIP 400系列 • 尺寸小 • 测量步距至0.005 µm • 提供多种热膨胀系数的光栅尺

测量 - 设备和仪器
  • 海德汉
  • 直线光栅尺

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