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用于离子注入的备件

用于离子注入的备件,由石墨、钨、钼及其合金制成

相關細節

备件包括腔体、灯丝、电弧缝、支架和许多其他部件。这些零备件由石墨、钼、钨和合金制成。它们经久耐用,使用寿命长,因此可以节省资金和维修时间。每个光束路径上都有上百或更多的攀时组件在工作。它们确保有效生成离子,并沿着光束路径不含杂质精确引导到晶片。 对于半导体行业的客户,攀时的备件渐渐已经不仅仅是备品,而是成为了首选。攀时在设备制造商原始备件的基础上优化了几何形状和材料组成。给您带来的好处:简化组件的安装和拆卸、延长使用寿命、降低清洁成本、减少维护工作、减少停机时间。

金属加工成品
  • 半导体
  • 注入机系统
  • 替换零件

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